Es empfiehlt sich, Bauteile nach der wässrigen Fein- bzw. Feinstreinigung in speziellen Öfen unter Vakuum auszuheizen. Somit werden Restkontaminationen atmosphärischer Bestandteile von der Oberfläche gelöst und abgepumpt. Ein weiterer Effekt des Ausheizens ist eine, je nach verwendetem Werkstoff, signifikante Reduzierung der Ausgasrate.
Unsere einzigartigen, modular aufgebauten VOBOS-Vakuumöfen können auf Ihren gewünschten Prozess und auf Ihre Teile abgestimmt werden und sorgen für eine erhöhte Effizienz Ihres Reinigungsprozesses. Die Serie VOBOS pro ist speziell für die hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie entwickelt.
Vakuumausheizofen zur Trockenreinigung
VOBOS, die Vakuumofenserie von TREAMS, wurde speziell entwickelt, um Bauteile und Baugruppen in High Purity-Reinigungsprozessstrecken effizient auszuheizen.
Aufgrund der Temperaturabhängigkeit der Desorptions – und Diffusionsraten aller Werkstoffe werden durch das Ausheizen Sauberkeits – und Ausgaswerte verbessert. Daher eignen sich VOBOS – Systeme zur Ergänzung von Fein – und Feinstreinigungsstrecken.
- VOBOS liefert intelligente Lösungen zur effizienten Auslegung des kompletten Temperierzyklus
- VOBOS wird je nach Bauteilgröße mit flexibel einsetzbaren Heizblechen ausgestattet
- VOBOS ermöglicht die Einrichtung produktspezifischer Heizprogramme
- VOBOS kann optional mit einem integrierten Massenspektrometer zur Überprüfung der Bauteilausgasraten ausgestattet werden
- VOBOS kann optional mit TQCM ausgestattet werden
VOBOS pro
Vakuumausheizhofen zur Trockenreinigung im Halbleiterbereich
Die neu entwickelten Vakuumöfen der Serie VOBOS pro sind gezielt auf die spezifischen Anforderungen der Halbleiterindustrie ausgerichtet, wobei der Schwerpunkt auf Effizienz und Wirtschaftlichkeit liegt. Diese Öfen entsprechen den gängigen Spezifikationen der Endkunden und bieten ein optimales Verhältnis von Kosten und Nutzen. Fortschrittliche Technologien und eine Priorisierung der wesentlichen Produkteigenschaften gewährleisten die Realisierung der hohen Anforderungen bei minimalen Kostenaufwand.
VOBOS pro ist für den Einsatz in Reinräumen konzipiert und erzeilt durch ein speziell auf Ihre Bauteile und Anforderungen abgestimmtes Pumpsystem eine effektive und nachhaltige Reinigungswirkung. Eine präzise Regelung der Innentemperatur ermöglicht konstante und reproduzierbare Ausheizprozesse.
Darüber hinaus ist das gesamte System auf Anwendungen im Ultrahochvakuum und Prozesse in Reinräumen ausgelegt. Ausgasarme Dichtungen stellen sicher, dass VOBOS pro die strengen Sauberkeitsanforderungen der Halbleiterindustrie an Vakuumanlagen erfüllt
- Remote Support: kurze Reaktions- und Entstörungszeiten
- Intuitive Bedienung: einfache Handhabung auch für ungelerntes Personal
- Individuelles Servicekonzept: modulare Serviceverträge je nach Kundenforderungen
- Viele individuelle Konfigurationsoptionen möglich, z.B. Sensorik, Heizsystem, Heizbleche, Steuerungslevel, Design
