VOBOS pro

Vakuumausheizofen für die Halbleiterindustrie

VOBOS pro präsentiert sich als die individuelle Weiterentwicklung innerhalb der VOBOS-Serie, speziell konzipiert für das präzise Ausheizen von Bauteilen nach höchsten Spezifikationsanforderungen. Ein maßgeschneiderter Lösungsansatz, der den Bedürfnissen anspruchsvoller Kunden im Halbleiterbereich gerecht wird.

VOBOS pro erfüllt grundlegend die gängigen Spezifikationen im Halbleiterbereich
VOBOS pro wird mit einer für Ihre Bauteile ausgelegten Vakuumkammer ausgestattet
VOBOS pro überzeugt mit einer hochautomatisierte Steuerung und einer intuitiven Oberfläche
VOBOS pro temperiert mit einer partikelarmen und effizienten Heizlösung
VOBOS pro kann problemlos im Reinraum betrieben werden

Aufgrund der Temperaturabhängigkeit der Desorptions – und Diffusionsraten aller Werkstoffe werden durch das Ausheizen Sauberkeits – und Ausgaswerte verbessert. Daher eignen sich VOBOS pro – Systeme zur Ergänzung von Fein – und Feinstreinigungsstrecken in der Zuliefererkette der Halbleiterindustrie.