Die neu entwickelten Vakuumöfen der Serie VOBOS pro sind gezielt auf die spezifischen Anforderungen der Halbleiterindustrie ausgerichtet, wobei der Schwerpunkt auf Effizienz und Wirtschaftlichkeit liegt. Diese Öfen entsprechen den gängigen Spezifikationen der Endkunden und bieten ein optimales Verhältnis von Kosten und Nutzen. Fortschrittliche Technologien und eine Priorisierung der wesentlichen Produkteigenschaften gewährleisten die Realisierung der hohen Anforderungen bei minimalen Kostenaufwand.

VOBOS pro ist für den Einsatz in Reinräumen konzipiert und erzeilt durch ein speziell auf Ihre Bauteile und Anforderungen abgestimmtes Pumpsystem eine effektive und nachhaltige Reinigungswirkung. Eine präzise Regelung der Innentemperatur ermöglicht konstante und reproduzierbare Ausheizprozesse.

Darüber hinaus ist das gesamte System auf Anwendungen im Ultrahochvakuum und Prozesse in Reinräumen ausgelegt. Ausgasarme Dichtungen stellen sicher, dass VOBOS pro die strengen Sauberkeitsanforderungen der Halbleiterindustrie an Vakuumanlagen erfüllt