VOBOS pro

Vakuumausheizofen für die Halbleiterindustrie

VOBOS pro präsentiert sich als die individuelle Weiterentwicklung innerhalb der VOBOS-Serie, speziell konzipiert für das präzise Ausheizen von Bauteilen nach höchsten Spezifikationsanforderungen. Ein maßgeschneiderter Lösungsansatz, der den Bedürfnissen anspruchsvoller Kunden im Halbleiterbereich gerecht wird.

  • VOBOS pro erfüllt grundlegend die gängigen Spezifikationen im Halbleiterbereich
  • VOBOS pro wird mit einer für Ihre Bauteile ausgelegten Vakuumkammer ausgestattet
  • VOBOS pro überzeugt mit einer hochautomatisierte Steuerung und einer intuitiven Oberfläche
  • VOBOS pro temperiert mit einer partikelarmen und effizienten Heizlösung
  • VOBOS pro kann problemlos im Reinraum betrieben werden

Aufgrund der Temperaturabhängigkeit der Desorptions – und Diffusionsraten aller Werkstoffe werden durch das Ausheizen Sauberkeits – und Ausgaswerte verbessert. Daher eignen sich VOBOS pro – Systeme zur Ergänzung von Fein – und Feinstreinigungsstrecken in der Zuliefererkette der Halbleiterindustrie.

Interesse?

Kommen Sie auf uns zu, wenn Sie Interesse an einen VOBOS pro -System haben.