VOBOS, die Vakuumofenserie von TREAMS, wurde speziell entwickelt, um Bauteile und Baugruppen in High Purity-Reinigungsprozessstrecken effizient auszuheizen.
Aufgrund der Temperaturabhängigkeit der Desorptions – und Diffusionsraten aller Werkstoffe werden durch das Ausheizen Sauberkeits – und Ausgaswerte verbessert. Daher eignen sich VOBOS – Systeme zur Ergänzung von Fein – und Feinstreinigungsstrecken.
- VOBOS liefert intelligente Lösungen zur effizienten Auslegung des kompletten Temperierzyklus
- VOBOS wird je nach Bauteilgröße mit flexibel einsetzbaren Heizblechen ausgestattet
- VOBOS ermöglicht die Einrichtung produktspezifischer Heizprogramme
- VOBOS kann optional mit einem integrierten Massenspektrometer zur Überprüfung der Bauteilausgasraten ausgestattet werden
- VOBOS kann optional mit TQCM ausgestattet werden
