Es empfiehlt sich, Bauteile nach der wässrigen Fein- bzw. Feinstreinigung in speziellen Öfen unter Vakuum auszuheizen. Somit werden Restkontaminationen atmosphärischer Bestandteile von der Oberfläche gelöst und abgepumpt. Ein weiterer Effekt des Ausheizens ist eine, je nach verwendetem Werkstoff, signifikante Reduzierung der Ausgasrate.

Unsere einzigartigen, modular aufgebauten VOBOS-Vakuumöfen können auf Ihren gewünschten Prozess und auf Ihre Teile abgestimmt werden und sorgen für eine erhöhte Effizienz Ihres Reinigungsprozesses. Die Serie VOBOS pro ist speziell für die hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie entwickelt.