Immer kleiner werdende Schaltkreise erfordern immer neuere Belichtungsverfahren an der Grenze des technisch Machbaren: die aktuelle Speerspitze ist die EUV-Lithografie, die elektromagnetische Strahlung mit sehr kurzen Wellenlängen nutzt. Anlagen, die mit solchen Verfahren Chips produzieren, werden in Reinräumen höchster Güte montiert und betrieben. Die Erzeugung der Strahlung findet im Vakuum statt. Beide Bereiche teilen sich die Sensibilität für Verunreinigungen. Partikuläre und filmische Verunreinigungen können den Produktionsprozess stark beeinträchtigen. Bauteile für den Aufbau dieser modernsten Produktionsanlagen müssen daher höchsten Ansprüchen genügen.

TREAMS ergänzt mit ihren Anlagen Feinst- und Ultrafeinstreinigungsstrecken um Öfen zur Trockenreinigung (VOBOS oder VOBOS pro). Durch das Ausheizen der Komponenten unter Vakuum und hoher Temperaturen wird die Sauberkeit nach der Nassreinigung signifikant verbessert. Restgasanalyseanlagen zum Nachweis der Bauteilsauberkeit sind teilweise zwingend vorgeschrieben. Mit unseren ARGAT®-Systemen bekommen Sie eine vollautomatische Komplettlösung an die Hand. Kombinationsanlagen aus beiden Typen können wir ebenfalls umsetzen.