Unsere Systeme definieren den heutigen Standard für die Detektion und Analyse von chemisch-filmischen Verunreinigungen und Ausgasraten auf bzw. von Bauteilen und Baugruppen. Die eingesetzte Technik liefert Ihnen die Möglichkeit, die Sauberkeit und die Ausgaseigenschaften Ihrer Bauteile exakt zu bestimmen.
Vorteile unserer Produkte
Bisher war eine angemessene Überwachung der Bauteilsauberkeit nur durch zeitaufwendige, zerstörende und/oder kostspielige Analysetechniken möglich. Das ändert sich durch unsere Systeme und macht Sauberkeit für jeden zugänglich.
Unsere Analysesysteme
- detektieren filmische Verunreinigungen und Ausgasraten auf Oberflächen einzelner Bauteile und Baugruppen beliebiger Geometrie.
- liefern quantitative Ergebnisse (Masse Restschmutz in g oder Ausgasrate mbar*l/s jeweils pro Oberfläche in cm²) und bereiten somit den Weg zur Festlegung zweckmäßiger Grenzwerte für hinreichende Bauteilsauberkeit.
- prüfen zerstörungsfrei und ohne Rekontamination. Ihre Bauteile können anschließend direkt weiter prozessiert werden.
- erlauben eine einfache Identifikation der Ursachen filmischer Verunreinigungen und ermöglichen damit effiziente und zielführende Prozessoptimierungen.
- können fertigungsnah, also quasi in-line, eingesetzt werden.
- sind durch den automatisierten Messprozess und der intuitiven Software sehr einfach zu bedienen. Nach einer ausführlichen Anwenderschulung kann das System von jedem Mitarbeiter betrieben werden.
ARGAT® - Automatisches Restgas-Analyse-Tool
ARGAT® ist ein Messgerät zur Restgasanalyse im Vakuum. Schnell und vollautomatisch bestimmt es die Ausgasraten einzelner Bauteile als auch ganzer Baugruppen. Durch das automatisierte spektrale Messverfahren können Restgaszusammensetzungen direkt bestimmt und Gasbeiträge eindeutig ihren Quellen zugeordnet werden. Darüber hinaus liefert Ihnen ARGAT® absolute und vergleichbare Messwerte der Ausgasraten in mbar · l / s und ermöglicht somit die Festlegung zweckmäßiger Grenzwerte. Die TQCM – Option ermöglicht die Bestimmung kondensierbarer Verunreinigungen mit Hilfe eines Sensors basierend auf Schwingquarzen.
Durch seinen partikelarmen sowie silikon- und schwermetallfreien Aufbau erfüllen ARGAT® Systeme die Anforderungen verschiedenster Branchen an den Betrieb in Sauber- und Reinräumen.
ARGAT® fine
| Nachweisgrenze absolut | Absolut: 1 · 10-12 mbar * l/s |
| Q(Wasser): 2E-10 mbar*l/s/cm² | |
| Q(45u-100u): 2E-12 mbar*l/s/cm² | |
| Q(101u-200u): 2E-13 mbar*l/s/cm² | |
| Einsatzbereiche (Beispiele) | Bauteilprüfung nach Fein- und Feinstreinigung (z.B. Wareneingang) Materialqualifizierungen, Vakuumtauglichkeitstest |
| Messbare Fertigungshilfsstoffe | Verschiedene Öle und Fette, Kühlschmierstoffe, Reiniger, Konservierungsstoffe, Lösungsmittel, Löt-Flussmittel und andere |
| Materialien | Edelstahl, Aluminium, Kupfer, Nickel, Titan, Glas, Keramik, vakuumtaugliche Kunststoffe, andere Kunststoffe nach Rücksprache |
VIDAM® - Vollautomatisches Sauberkeitsmessgerät für filmische Verunreinigungen
VIDAM®ist ein Sauberkeitsmessgerät, welches durch vakuum-induzierte Desorption chemisch-filmische Verunreinigungen auf der gesamten Produktoberfläche nachweist. Sowohl einzelne Bauteile als auch Baugruppen werden zerstörungsfrei und vollautomatisch geprüft.
Durch das spektrale Messverfahren werden Verunreinigungen eindeutig identifiziert und ihren Ursachen zugeordnet.
VIDAM®
- liefert mittels eines patentierten Verfahrens quantitative Ergebnisse in g/cm²
- ermöglicht die direkte Weiterprozessierung Ihrer Bauteile dank zerstörungsfreier Prüfung
- lässt sich sehr einfach bedienen und arbeitet vollautomatisch
- bietet die Möglichkeit, Grenzwerte zu ermitteln und gegen diese zu prüfen
- liefert qualitative Ergebnisse. Die Ursache von Verunreinigungen ist über eine Datenbankoption identifizierbar
Durch seinen partikelarmen sowie schwermetall- und silikonfreien Aufbau erfüllen VIDAM®-Systeme die Anforderungen verschiedenster Branchen an den Betrieb in Sauber- und Reinräumen.
VIDAM® fine
| Nachweisgrenze absolut | 5 µg |
| Einsatzbereiche (Beispiele) | Bauteilprüfung nach Fein- und Feinstreinigung (z.B. Wareneingang) |
| Messbare Fertigungshilfsstoffe | Verschiedene Öle und Fette, Kühlschmierstoffe, Reiniger, Konservierungsstoffe, Lösungsmittel, Löt-Flussmittel und andere |
| Materialien | Edelstahl, Aluminium, Kupfer, Nickel, Titan, Glas, Keramik, vakuumtaugliche Kunststoffe, andere Kunststoffe nach Rücksprache |


