Prozesskompetenz im eigenen Haus

Zulieferer in der Halbleiterbranche verlagern kritische Schritte wie Reinigung, Ausheizen im Vakuumofen und Restgasanalyse zunehmend in die eigene Produktion. Das bringt entscheidende Vorteile:

•    Mehr Flexibilität und schnellere Reaktionszeiten
•    Weniger Teile-Tourismus und geringerer Logistikaufwand
•    Alleinstellungsmerkmale gegenüber den Marktbegleitern
•    Aufbau der Expertise für Vakuumprozesse in der EUVL
•    Reduziertes Risiko durch bessere Prozesskontrolle und Datenhoheit

Unsere Lösung: TREAMS focus

Mit der focus Produktreihe bietet TREAMS Vakuumanlagen, die speziell für die GSA-orientierte Zuliefererkette entwickelt sind. Die Systeme unterstützen die qualitätssichere Durchführung von Trockenreinigungsprozessen und Restgasanalyse (RGA) zur Bauteilqualifikation.

Konform und zielgerichtet

Um Prozessbedingungen nach den Standards GSA 07 2221 und GSA 07 9510 zu erfüllen, sind die focus Anlagen konsequent auf diese Vorgaben ausgelegt. Das bedeutet für Sie:

•    Reproduzierbare, validierbare Prozesse
•    Integrierbare Restgasanalyse zur lückenlosen Qualifikation
•    Dokumentation und Nachverfolgbarkeit für Audits und Freigaben