ARGAT focus - die passendste Lösung
Restgasanalyse (RGA) wird in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um filmische bzw. molekulare Verunreinigungen unter Vakuum mittels Massenspektrometrie sicher nachzuweisen. Damit Systeme in etablierten Zulieferketten eingesetzt werden können, müssen Aufbau, Komponenten und Protokollausgabe endkundenspezifischen Standards entsprechen.
ARGAT focus ist eine RGA-Anlage, die genau für diese Anforderungen entwickelt wurde: zuverlässig und standardkonform:
Eigenschaften
- Vollautomatisiert inkl. ASML-konformer Protokollerstellung
- Kosteneffizientes Systemdesign
- Integriertes Massenspektrometer mit amu 0-200
- Standard-Zylinderkammergrößen: Mini, 125l, 500l
- Intuitive, eigenentwickelte HMI für einfache Bedienung
- Auf niedrige Wartungskosten optimierte Komponentenauswahl
- Verschiedene Serviceoptionen wie Einstellung per Remotezugriff
Folgende Optionen sind zusätzlich verfügbar
- Sondergrößen und kundenspezifische Kammergeometrien
- Integriertes HiQuad-Massenspektrometer
- Unterschiedliche Pumpensysteme ausgelegt für spezifische Anforderungen
- HMI-Anpassungen nach Kundenwunsch
- Kundenspezifische Datenübergabe und Schnittstellen
- Schieber vor TMP und QMS für verlängerte Lebenszeit
Mit VOBOS focus, einem Vakuumofen zur Trockenreinigung, bietet TREAMS außerdem die ideale Ergänzung Ihrer Prozesskette. Der Ofen entfernt Feuchte, flüchtige Rückstände und kondensierbare Verunreinigungen unter definierten Vakuum- und Temperaturbedingungen
