Um letzte molekulare Rückstände auch von geometrisch anspruchsvollen Oberflächen zu entfernen, ist das Ausheizen der nassgereinigten Bauteile unter definierten Vakuum- und Temperaturbedingungen in der Halbleiterindustrie nach der Nassreinigung Standard. Typischerweise passiert dies in Vakuumöfen direkt vor der Restgasanalyse (ARGAT focus).
VOBOS focus bietet Ihnen die perfekte Ergänzung für Ihre GSA-konforme Prozesskette und sorgt mit noch saubereren und trockenen Bauteilen für eine optimalen Aufbereitung Ihrer Bauteile für das RGA.
Eigenschaften
- Reale Reinigungswirkung
- Vollautomatisierter Betrieb
- Kosteneffizientes Systemdesign
- Standard-Zylinderkammergrößen: Mini, 125l, 500l
- Intuitive eigenentwickelte HMI
- Temperaturregelung bis 120°C auf das Kammerinnere
- Auf niedrige Wartungskosten optimierte Komponentenauswahl
- Vielfältige Serviceoptionen (bspw. Remotezugriff)
Optionen
- Sonderkammergrößen
- HMI-Anpassungen
- Kundenspezifische Übergabe von Daten
- Steuerung „Professional“ mit funktionsreichem Rezepteditor
- Höhere Temperaturbereiche bspw. durch Strahlungsheizer oder aktive Temperierung mit Pillow Plate-Kammern
- Unterschiedliche Pumpensysteme ausgelegt für spezifische Anforderungen
Mit ARGAT focus, dem nach ASML-Standards ausgelegtem RGA-System, bietet TREAMS außerdem den idealen analytischen Abschluss Ihrer GSA-konformen Prozesskette.
